增芯项目启动投产,一期产能达2万片/月 芯片有了“增城造
从一片空地到一座现代化先进芯片制造工厂,增芯项目实现了由动工向通线的跃升,于6月28日启动投产。
这是国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目。该项目位于增城经济技术开发区核心区,一期投资70亿元,将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。预计今年底实现产品交付客户。
仅用时18个月,增芯项目创下了广东大体量项目建设的“芯”速度。增城第一家芯片制造企业,具备了从原料加工到产品交付全过程的生产能力。
芯片实现“增城造”,将为国内智能传感器及相关产业提供高质量发展支撑,更将助力“广东强芯”工程。
●南方日报记者 李鹏程
通讯员 何秋玲 谢锡权
一颗“增城芯”的诞生
一片空白的晶圆,由工作人员缓缓放入增芯机台设备中。经过复杂的工序,“001”序列号被刻在了晶圆片上。首个进入制造产线的晶圆,由此获得了“出生证明”。
在增芯项目主厂房,包括光刻机、干法刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放,整个操作车间一尘不染,工作人员身穿洁净服进行操作。
芯片制造类似乐高盖房子:先用晶圆作为地基,再利用光刻机绘制“建房”的结构图,然后用刻蚀机沿线把该“挖”的“挖掉”,最后使用注入机“浇注”。如此反复地筑平台、划线、挖槽、注入,从而逐层将芯片垒起。
“增芯可以在增城生产第一批芯片产品了!”现场,增芯总经理张亮难掩激动。他介绍,芯片完整的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤,分别对应不同设备。
当天举行的投产启动仪式,意味着项目已建立起制造系统,整个生产流程能够连贯地运作。后续,增芯将通过产品良率提升和产能爬坡,加快产品交付工作。
随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展,先进智能传感器芯片大有可为。
面向粤港澳大湾区这一全球传感器最大的应用市场,增芯专注于MEMS(微机电系统)、先进模拟/混合信号等特色芯片制造技术领域。“增芯采取差异化竞争策略,专注于高附加值的MEMS传感器及特色细分产品市场段。”张亮表示。
项目一期产能预计于2025年底达到2万片/月;一期工艺技术采用MEMS力学传感器和130-55纳米成熟制程。
“我们主攻的12英寸55nm-90nm工艺产品,具有性能功耗平衡、高集成度、成本效益和成熟度稳定等技术特点,在多个应用领域具备广泛适应性,市场份额稳定。”张亮介绍,这些特性使得“增芯出品”有望在半导体市场取得独特的地位。
未来,增芯的产品将主要应用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域,极大满足大湾区在相关优势产业领域对半导体和集成电路的庞大需求,提升产业链供应链稳定性和安全性。
东部中心“芯芯”向荣
作为广州东部中心“现代活力核”的重要承载区,增城加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系,并在“芯”产业不断突破,智能传感器全产业链雏形已形成。
在广州集成电路“一核两极多点”中,增城扮演着重要角色,主要聚焦智能传感器和芯片制造领域。在链主企业增芯的牵引之下,增城已引进落户越海、广东微技术工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目。
为推动全产业链条完整集聚,增城同步打造广东省首个获批的智能传感器特色产业园,形成包括增城经济技术开发区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团4个组团,以制造为核心的“一核一圈四组团”空间布局。
当前,增城的集成电路和半导体产业链,已覆盖生产制造端、装备制造端、创新平台端、封装测试端、材料供应端、芯片设计端、终端应用端。预计到2035年,增城将形成千亿级智能传感器产业集群。
“从2022年12月项目动工,到2023年9月主体结构封顶,一共用了9个月零6天,再到2023年12月完成首台设备搬入,2024年6月进入投产阶段,最大感受就是快。”张亮表示,这既是增芯速度,也是“增城速度”。
以增芯项目为缩影,增城正全力以赴优化营商环境——
提供优质、便捷、高效的“全生命周期服务”,大力支持增芯等重点项目建设,做好全链条要素保障,保障项目顺利投产;增城海关加快智慧海关建设,将口岸查验指令调整为由目的地海关到厂执行,配合企业生产流程第一时间到厂检验,做到随到随检,一次开箱、一次验放;积极制定出台和推动各项扶持政策落实,加快集成电路及智能传感器产业发展,为培育壮大现代化产业体系提供坚实支撑。
如今,放眼广州东部中心,一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目相继布局落子。
芯芯相连,“芯芯”向荣。全产业链条加速集聚,将为广东打造国家集成电路产业发展“第三极”提供有力支撑。
佛山市南海区基业花园小区位于风景秀丽、交通便捷的南海区,是一个融合了舒适居住环境和便捷生活设施的理想家园。
## 一、小区环境
1. 绿化景观
基业花园小区内绿树成荫,花草繁盛。精心规划的花园和绿地为居民提供了放松身心的休闲空间。无论是漫步其中还是静坐欣赏,都能感受到大自然的宁静与美好。
2. 卫生清洁
小区的公共区域始终保持着干净整洁,专业的保洁团队定期进行清扫和垃圾处理,为居民营造了一个清新宜人的居住环境。
## 二、房屋建筑
1. 房屋户型
小区内的房屋户型多样,满足了不同家庭的需求。从温馨的小户型到宽敞的大户型,应有尽有。房屋布局合理,空间利用率高,采光通风良好。
2. 建筑质量
小区建筑采用高品质的建筑材料,历经时间考验,依然坚固可靠。建筑外观简约大方,具有现代感。
## 三、配套设施
1. 停车场
小区配备了充足的地下停车场和地面停车位,方便居民停放车辆,解决了停车难的问题。
2. 健身设施
设有专门的健身区域,配备了各类健身器材,如跑步机、哑铃等,满足居民的健身需求,促进居民的身体健康。
3. 儿童游乐设施
小区内有专为儿童设计的游乐场地,滑梯、秋千等设施让孩子们可以尽情玩耍,享受快乐童年。
4. 物业管理
专业的物业管理团队提供 24 小时周到服务,包括安保巡逻、设施维护、客户服务等,让居民生活无后顾之忧。
## 四、周边设施
1. 教育资源
周边有多所优质的学校,涵盖幼儿园、小学、中学,为孩子提供了良好的教育环境。
2. 商业购物
距离小区不远处有商场、超市、便利店等,满足居民的日常购物需求。
3. 医疗保健
附近有医院和诊所,为居民的健康提供保障。
4. 交通便利
小区周边公交线路发达,地铁站点也在规划建设中,方便居民出行。
佛山市南海区基业花园小区,以其优美的环境、完善的配套设施和便捷的交通,为居民打造了一个温馨舒适、幸福和谐的居住家园。
充电10分钟,续航400公里! 6月29日上午,广州市政府与中国国新控股有限责任公司战略合作协议签署暨孚能科技广州基地试投产下线活动在中新广州知识城举行,凭借孚能科技广州基地“全能产品+超级工厂”优势,以百亿基金为“桥梁纽带”,助力广州形成千亿级动力电池、万亿级新能源汽车产业集群,推动实体经济进一步高质量发展。
超级工厂:符合未来10年技术迭代和新能源汽车的要求
随着新能源汽车市场的扩容,动力电池的产业水平和市场需求都越来越高。孚能科技作为动力电池及电池系统供应商,经过多年领域深耕,已成为全球三元软包动力电池的领军企业之一,连续三年位列全球动力电池装机量前十,其核心技术——SPS(Super Pouch Solution)“超级软包动力电池方案”已成功迈向产业化,该技术不仅引领性地提高动力电池的性能,还构筑了通用度高、兼容性强的创新平台,全方位满足市场多元化需求,是面向TWh(亿千瓦时)时代的全新动力电池有效解决方案。
“我们建立的第一个TWh时代的超级工厂今天在广州正式建成,试投产产品正式下线。”孚能科技董事长王瑀在致辞中表示,孚能科技广州基地在产能规模、技术创新、成本控制等方面都在行业领先,符合未来10年整个技术迭代和新能源汽车的要求。
落地于中新广州知识城的孚能科技广州项目是广州市国资委、广州工控集团“以投促引、以投促产”重点项目,也是广州近年来最大的新能源汽车零部件落地项目之一,将全面打造成为SPS超级软包的核心生产制造基地。
据介绍,不同于行业内其他动力电池产品,SPS融合了电芯、系统、制造和直接回收四个维度的创新技术平台,全极耳、多极耳的大尺寸单体软包电芯直接集成于底盘,体积利用率到75%,材料成本下降33%;全新的产线设计在简化工艺流程的同时提高效率,大幅减少制造费用。材料体系方面,SPS兼容三元锂、磷酸铁锂、钠离子等多种材料体系以及液态、半固态和全固态电池,三元材料体系SPS可以轻松实现1000公里续航里程以及10分钟补能400公里的充电效率,磷酸铁锂SPS的整体性能与常规设计的三元材料体系相当。直接回收则通过物理方式分离电芯的正负极材料,相较目前的火法或湿法回收,是一种全新的短流程、低能耗的高效回收技术。
活动上,孚能科技与广汽埃安、广汽传祺、山河星航、山河智能等整车企业和智能制造龙头企业签订了战略合作协议。
据悉,孚能科技广州项目作为生产30GWh动力电池的生产基地,将围绕广州基地建设“4小时覆盖全市,8小时触及全省”的服务体系,为珠三角地区的整车企业提供更高质量且具备高竞争优势的动力电池解决方案,并为广州的整车企业、电动飞行器科创企业等提供“当日达”的交付能力,实现广州市汽车产业链强链补链战略目标,为广州迈向“智车之城”贡献力量。
“推动先进动力电池项目落户广州,打造本地新能源汽车零部件链主企业。”广州工控集团董事长景广军表示,广州工控未来将在广州设立孚能科技全球研发中心,加快产品迭代升级,推动上下游配套产业落户广州,形成广州“整车+零部件”互融共促的新能源汽车产业发展新格局,为广州集聚千亿级新能源汽车零部件产业贡献力量。
“智能零碳”工厂:亩均产能较传统工艺提升近50%
作为广州市积极响应新能源汽车发展趋势及国家“双碳”政策的重点工程,孚能科技广州基地以打造智能制造“灯塔”工厂、“零碳”工厂为目标,通过全自动柔性产线、数字孪生工厂、智能质检等技术手段,将单体电芯的失效率降低至PPB级,即十亿分之一的缺陷率,可自动追溯每一片电芯的情况,项目亩均产能较传统工艺提升近50%。
同时,项目生产全流程贯彻“零碳”可持续发展理念,通过优化制造流程和工艺,大幅减少制造能耗,广泛应用可再生能源建设“零碳”工厂,如通过在厂区安装光伏,年光伏发电9000万度,广州基地年可节约标煤约3万吨,二氧化碳减排超过2万吨。
据了解,通过长期不懈地探索实践,孚能科技已形成一套成熟的碳足迹核算及碳中和实践经验,能快速估算基于“温室气体协议”范围一、范围二的厂内碳排放。
百亿基金:架起实体产业和资本市场的“桥梁纽带”
活动上,广州市政府与中国国新控股有限责任公司签署战略合作协议,双方围绕高质量发展主线,响应广州市“大干十二年 再造新广州”的号召,结合中国国新在粤港澳大湾区战略布局,双方在产业结构转型升级、国资国企改革、科技创新、资本运作、项目投资、金融服务等领域广泛开展合作,共同推动新质生产力发展。
国风投大湾区基金作为本次广州市政府与中国国新的战略合作关系下落地的首个百亿基金,由广州开发区投资集团代表广州开发区,与中国国新、广州产业投资集团合作,推动总规模100亿元产业基金落地,目前该基金已注册在广州开发区,实缴24亿元并正式进入投资期。该基金将架起实体产业和资本市场的“桥梁纽带”,进一步做强做优集团智能制造和先进制造第一主业,加快带动智能制造、新材料、新一代信息技术等先进制造业蓄势腾飞,助力广州市、广州开发区进一步吸引优质产业落地。
筹建创新:项目从动工到试投产仅10个月
孚能科技广州基地由广州开发区投资集团出资约20亿元定制建设,这也是广州开发区投资集团目前规模和投资最大的定制项目。
广州开发区企业筹建局局长何莹表示,项目对用地、交通、用电、用气等配套要求比较高,为确保项目建设优质高效,广州开发区、黄埔区创设“企业筹建合伙人机制”并将该项目纳入首批清单,政企双方密切沟通,从孚能科技对项目建设投产的需求出发,与招商同步,专班筹建攻坚,落实方案共商、节点共议、进度共促,设计最快动工、建设、投产的“路线图”,围绕拿地即动工、竣工即投产的筹建理念,高效解决项目建设要素配套、动工绿色通道、投产水电气热保障等系列问题。同时,广州开发区、黄埔区创造性推行公用变电站“区属国企代建”模式,快速启动配套变电站建设,帮助项目一次性节省建设费用约4000万元。该项目从2023年9月1日打下首桩至主体完工并试投产,历时仅10个月。
广州开发区、黄埔区将继续坚持“一切为了企业,一切为了投资者”理念,加强招商引资和项目筹建,以一批批优质项目签约落地,建成投产,加快构建现代化产业体系,努力在全市发展新质生产力中挑大梁、当尖兵,打造国际一流营商环境新高地。
(焦婵娟、范敏玲、吴小燕、张世港)
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