第五届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）在佛山开幕

12月12日，第五届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）在佛山开幕，来自国内外的专家学者、行业大咖线上线下齐聚，结合当前国内外光刻技术发展现状，为佛山乃至粤港澳大湾区的集成电路产业发展提供更为广阔的发展思路，推动产业实现更快更优的提升。

两天的峰会里，专家学者、行业大咖分别进行主旨演讲，深入分析了光刻领域先进节点最新的技术手段和解决方案，内容丰富，包含先进节点的计算光刻技术、工艺、量测、光刻设备、材料等。

“光刻技术是集成电路制造的核心技术。近年来，先进光刻技术不断取得突破和进步，同时带动先进制造装备和材料的快速发展。” 大会主席、中国集成电路创新联盟副理事长兼秘书长、中国半导体行业协会副理事长、中国半导体行业协会集成电路分会理事长叶甜春研究员表示，IWAPS今年来到佛山举办，为佛山乃至国内的企业、专家学者搭建与国际先进技术水平交流学习的桥梁和机会，带动国内先进光刻技术的发展。

作为国内首个国际高端光刻技术研讨会，IWAPS已经成功举办过四届，今年在佛山举办第五届。广东省工业和信息化厅总工程师董业民表示，佛山是珠江西岸先进装备产业带的龙头城市，高端装备制造业发达，发展半导体装备及零部件等产业优势明显。“广东强芯”工程大力支持佛山布局建设集成电路装备与零部件创新发展区，引进高水平团队和企业，支持省内优势企业和国内外顶级科研机构合作，研发生产高端关键零部件，优化工业软件算法。

近年来，中国集成电路蓬勃发展，国际先进光刻技术研讨会应运而生。本次会议由中国集成电路创新联盟、中国光学学会、中国电子学会、中国集成电路材料创新联盟主办；中国科学院微电子研究所、季华实验室、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院、佛山科学技术学院承办；佛山高新技术产业开发区管理委员会、中国科学院大学微电子学院、南京诚芯集成电路技术研究院协办，IEEE电气和电子工程师协会提供技术支持。

延伸阅读

曹健林：积极为佛山搭建集成电路产业人才需求和商业合作平台

“集成电路，或者说芯片是现代装备产业技术重要的基础，应用范围小到家用电器，大到飞机等装备。其中，整个光刻技术涉及多学科、多个尖端领域，对芯片的制造至关重要。”集成电路产业技术创新联盟理事长、季华实验室理事长兼主任曹健林介绍道。

“中国是全球集成电路产业发展的重要阵地，拥有全球最大的集成电路终端应用市场。” 曹健林表示，目前已经有很多高校、科研机构和企业在调研、培育和推进光刻技术的研发生产。尽管集成电路制造装备国产化已经取得了很大的进步，但是国产光刻装备距离国际顶尖水平仍然存在很大的差距，它涉及到工业基础、经济基础、人才基础，我们追赶学习的速度不够快，无论是前沿技术研究的速度，还是技术从研发生产到应用的速度都受到一定程度制约。

本次峰会首次在佛山举行，为集成电路产业主管部门、顶尖专家、龙头企业和行业组织等搭建了一个交流合作、协同创新的高端平台，意义重大。

“佛山是全国重要的制造业城市，拥有万亿级GDP规模，其中制造业占比过半。佛山制造业特点鲜明，拥有小家电、铝型材、建筑材料等类型多样、体量庞大的制造产业集群。” 曹健林认为，在集成电路发展上，和南京、厦门、程度等地相比，佛山还是一个“后来者”和“追赶者”，通过这次峰会，积极为佛山搭建起集成电路产业的人才需求和商业合作平台，在产业领域内倡导和推进差异化发展，根据各自特色强强联合，共赢发展。

传统制造业为主的经济结构，使佛山产业转型升级压力更大，创新驱动迫切性更高。如何推动集成电路等高端技术在佛山乃至大湾区普及化？曹健林从两方面给与建议：第一，从高端技术提供方来说，理应不断深化技术研发能力，降低相应的技术使用成本，从而推动高端技术普及化；第二，从技术承接方来说，要提高技术承接能力，要能“学会用、用得上”，企业首先要“把今天的饭吃好”，要有独立的市场，让自己的产品更有竞争力，这样才能积累更多资金来支撑技术的应用发展。

季华实验室于2018年正式启动建设，面向世界科技前沿、面向国民经济主战场，围绕国家和广东省重大需求，集聚、整合国内外优势创新资源，打造先进制造科学与技术领域国内一流、国际高端的战略科技创新平台。

“集成电路行业的特点是全球合作，希望企业遵循以技术为核心的发展路线，坚定以开放、合作的姿态同国际同行合作，吸收借鉴优秀成果。季华实验室继续以务实创新的态度，努力在先进光刻配套技术及相关制造装备集成方面贡献力量。” 曹健林说。